大族激光LED隐形划片机全球首发
来源:中国贸易报
本报讯 大族激光是世界知名的激光设备集成商,公司现有超过2万台/套的激光设备在全球各地稳定的运行。2011年,大族激光与日本滨松光子学株式会社强强联手,共同开发出新一代顶尖划片技术设备——LED隐形划片机。隐形划片是将激光聚焦于晶圆内部,形成一个分割用的改质层(即SD层),再对晶圆施以外力,将其分割成晶粒的划片技术。“LED隐形划片技术有三大突出优势:第一,划线缝宽窄,可以大幅减小切割道宽度,从而增加单片晶圆的晶粒切割数量;第二,减少生产工序,缩减生产成本。”大族激光专业行业发展事业部总工程师蒋总对高工LED记者表示,“第三,与传统表面划片技术相比,划片速度得到了大幅提高。” (王沣)